| LT2.100 | LT2.200 | LT2.300 |
運動范圍XY(µm) | 100 | 200 | 300 |
分辨率XY(nm) | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm) | 0,01 | 0,02 | 0,03 |
的重復(fù)性XY(nm) | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
線性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
諧振頻率X / Y(Hz) | 500/400 | 400/350 | 300/250 |
剛度 (N/µm) | 0,6/0,5 | 0,5/0,4 | 0,4/0,3 |
負(fù)載(kg)-水平使用 | 1 | 1 | 1 |
負(fù)載(kg)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
傳感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
尺寸W x L x H (mm) | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 |
材料 | Al or Invar | Al | Al |
電纜長度(m) | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | Standard | Standard | Standard |