| FOC100 | FOC200 | FOC300 |
運(yùn)動(dòng)范圍(µm) | 100 | 200 | 300 |
分辨率(nm) | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
典型的噪聲基準(zhǔn)(nm) | 0,01 | 0,02 | 0,03 |
全范圍重復(fù)性(nm) | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
線性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
諧振頻率(hz) | 500 | 350 | 250 |
剛度 (N/µm) | 0,6 | 0,4 | 0,3 |
負(fù)載(kg)-水平使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
負(fù)載(kg)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
傳感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
尺寸:W x L x H (mm) | 53,6 x 64,2 x 34,50 | 53,6 x 64,2 x 34,50 | 53,6 x 64,2 x 34,50 |
材料 | Al | Al | Al |
電纜長(zhǎng)度(m) | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | Standard | Standard | Standard |