設備優(yōu)勢
◎ 采用固態(tài)蠟熔蠟方式,精確、定量滴蠟。
◎ 加熱冷卻盤內部采用精密加熱和自動冷卻系統(tǒng),可精確控制盤面溫度。
◎ 采用獨立氣缸壓片方式,精密氣壓控制,可精準控制蠟厚。
◎ 貼片后的TTV≤5um。
性能參數(shù)
參數(shù)名稱 | 單位 | DL-SL305A | DL-SL360A | |
晶圓尺寸 | in | ?4'' (?2''/?4'') | ?6'' (?4''/?6'') | |
陶瓷盤尺寸 | mm | ?305x15 | ?360x15 | |
噴蠟量 | g | 0.1~0.35 | 0.1~0.35 | |
加熱盤溫控范圍 | ℃ | 60~180 | 60~180 | |
上蠟厚度TTV | um | ≤5 | ≤5 | |
噴蠟重復定位精度 | mm | ±0.05 | ±0.05 | |
噴蠟精度 | g | ±0.02 | ±0.02 | |
加壓氣缸 | Kg | 500~1000 | 500~1000 | |
設備尺寸(W x D x H) | mm | 1350x1350x1700 | 1550x1550x1900 | |
設備重量 | Kg | 約800 | 約1000 |