FFU風(fēng)機(Fan Filter Unit)簡稱:FFU,是風(fēng)機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風(fēng)機的過濾設(shè)備"。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式"墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊,下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設(shè)定的運行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便,風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點,因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU風(fēng)機規(guī)格參數(shù)
型號Model type | K-F2AHG | K-F2BHG | K-F2CHG | ||
模組尺寸Module size (mm) | 1175*1175*230 | 1175*1175*350 | 1175*1175*220 | ||
風(fēng)量Air quangtity(m3/h) | 1400 | 2350 | 800 | ||
機外靜壓Extemal static pressure | 50 | 50 | 50 | ||
主體 Main body | 標(biāo)準(zhǔn)型Standard | 鋁鋅合金板Galvanium | |||
其它特性 Option | 不銹鋼板Stainless steel(SUS430) | ||||
電解板Electrolytic sheet | |||||
亞鉛鐵板Gal vanized sheet iron | |||||
鋁合金板Alumininum alloy sheet | |||||
電源 Power supply | 標(biāo)準(zhǔn)電源 Standard(V/Hz) | 220V 50/60Hz | |||
其它電源 Option(V/Hz) | 如有其它特殊電源需求請與我們! | ||||
濾網(wǎng) Filter | 效率 Efficiency | HEPA Over 99.99% atparticle diameter over 0.3μm | |||
ULPA Over 99.9995% atparticle diameter over 0.1μm | |||||
框架Frame | 鋁框Aluminum | ||||
功耗 Power dissipation(w) | 120 | 245 | 90 | ||
重量Weight(kg) | 25 | 45 | 15 | ||
震動值Shock(m/s2) | ≦0.4 | ≦1.1 | ≦0.4 | ||
噪音(L)Noise(db(a)) | 46-52 | 48-54 | 46-52 | ||
選配品Option | 壓差計(Differential draft gauge)遙控器(Remote congtrol)吸入口法蘭(Duct flange for suction air)初效過濾網(wǎng)(Pre-filter) |
深圳特點
*:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因為風(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。