SRS斯坦福PPR系列過程監(jiān)測系統(tǒng)     SRS斯坦福PPR系列過程監(jiān)測系統(tǒng)PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)是為內(nèi)聯(lián)過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計的。為殘余氣體分析儀（RGA）提供了兩條路徑：用于監(jiān)測基本真空的高導(dǎo)電性路徑，以及在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微型孔口，它被設(shè)計為在下列壓力之一下運行：0.01、0.1、1或10 Torr。它將樣本壓力降低到RGA的工作壓力（大約10-6 Torr）。這種壓力下降是由一個混合渦輪泵和一個隔膜泵組成的抽油系統(tǒng)來維持的。這兩個泵都是無油的，不會污染你的過程。連接到你的過程室的進口總成可以通過多種方式配置（見圖）。該系統(tǒng)包括一個RGA、旁路閥總成和Tee、一個控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于各種模式的操作，包括模擬掃描、直方圖模式、壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增探測器都是PPR系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統(tǒng)被*組裝和校準(zhǔn)，并準(zhǔn)備好連接到你的真空處理室。