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潔凈室空氣顆粒物檢測
【簡介】
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切結(jié)合在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當普遍。
根據(jù)氣流的流動狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室
(1) 非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風口或直接連送風口,也可以接到房間的送風靜壓箱上;回風口均設(shè)在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚灰"現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。
(2) 單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
(3) 矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風,采用扇形高效過濾器,也可以用普通高效過濾器配扇形送風口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風口,房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應(yīng)用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道"(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實現(xiàn)“隧道"部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設(shè)在“隧道內(nèi)"。
潔凈室空氣顆粒物檢測