華翼H5050型高純氣體分析儀,配備了增強(qiáng)型等離子體檢測(cè)器(Enhanced Plasma Detector,EPD)。EPD的原理是在檢測(cè)器的石英小池周圍加以高頻、高強(qiáng)度的電磁場(chǎng),在高頻、高強(qiáng)電磁場(chǎng)的作用下載氣和雜質(zhì)氣體被電離為等離子體,等離子體具有較高的能量,當(dāng)樣品進(jìn)入檢測(cè)器的石英小池之后,被等離子體電離并發(fā)出不同波長(zhǎng)的光,經(jīng)相應(yīng)的濾光片及光電二極管后轉(zhuǎn)換為電信號(hào),因此,相比于痕量分析中常用的PDHID檢測(cè)器,EPD選擇性更好,靈敏度更高,另外,EPD可以選擇氬氣等相對(duì)低成本的載氣種類,維護(hù)成本低于PDHID。
EPD提供了更好的信噪比以及更高的電離效率,是現(xiàn)有等離子體發(fā)射檢測(cè)器(Plasma Emission Detector,PED)的升級(jí)換代版本大的優(yōu)勢(shì)在于其聚焦/穩(wěn)定和電子注入電極技術(shù),以及高度穩(wěn)定的頻率控制系統(tǒng)。目前其他商品化PED存在的主要缺陷是穩(wěn)定性差,表現(xiàn)在三個(gè)方面:一是等離子體在常壓下的不穩(wěn)定性;二是等離子體石英池內(nèi)表面的電荷聚集效應(yīng);嚴(yán)重的是石英池內(nèi)表面、尤其是放電電極附近的位置,受長(zhǎng)時(shí)間濺射效應(yīng)的影響,會(huì)逐漸粗糙化,導(dǎo)致色譜峰的拖尾/展寬,進(jìn)而靈敏度減低,而EPD所采用的*技術(shù)在一定程度上避免了上述缺陷。
聚焦/穩(wěn)定技術(shù)
PED(現(xiàn)有等離子技術(shù))和EPD基線噪音的對(duì)比
技術(shù)特點(diǎn)
●操作自動(dòng)化程度高,用戶只需按動(dòng)一次啟動(dòng)鍵,即可完成樣品分析。
●采用了加拿大ASDevices公司的增強(qiáng)型EPD檢測(cè)器,該檢測(cè)器對(duì)耐用性氣體雜質(zhì)的檢測(cè)限可達(dá)1 PPB。
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 |
檢測(cè)限(ppb) | 氦載氣 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
氬載氣 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
●選用經(jīng)特殊處理的色譜柱,消除了色譜柱對(duì)O2、CO等痕量組分的非正常吸附現(xiàn)象。
●所采用的進(jìn)樣閥及切換閥均為進(jìn)口帶吹掃功能的產(chǎn)品,在保證儀器耐用性的同時(shí),消除了空氣滲漏對(duì)樣品分析結(jié)果的影響。
●所有的接頭及管線均經(jīng)過(guò)拋光處理,且接頭處經(jīng)高精度加工處理,一是為防止氣體泄漏,二是將系統(tǒng)死體積降至低,三是減小某些痕量組分的吸附。另外,色譜柱兩端的密封方式為VCR密封,其他接頭均采用鍍金卡套密封,泄漏量比普通卡套形式低一個(gè)數(shù)量級(jí)。
●采用背壓閥控制的升壓進(jìn)樣方式,能夠消除進(jìn)樣波動(dòng)并獲得相對(duì)較高的分析靈敏度。
●所有管線,包括色譜柱管,均為進(jìn)口產(chǎn)品,保證管壁光潔度。
●儀器配備有的載氣減壓器、進(jìn)口載氣純化器及采樣器,保證分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。
●可配備我公司*的氧氬分離組件,用于分析氬氣之外樣品氣中氧及氬含量,尤其在分析高純氧中雜質(zhì)含量時(shí),無(wú)需采用脫氧裝置,能夠大大減少設(shè)備維護(hù)工作量。
譜圖樣例
氦氣中H2、O2、N2、CH4、CO(均為1 ppm)