臺式
組成:
真空系統(tǒng):一般采用機械泵與分子泵聯(lián)動
電子槍:一般為CeB6( 六硼化鈰)或鎢燈絲,其中鎢燈絲的壽命較短,僅為40-100小時,需頻繁更換,CeB6燈絲壽命超過1500小時,且亮度更高。目前尚沒有采用 場發(fā)射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器: 背散射電子或二次電子探測器,可選配EDS
特點:
放大倍數(shù)高(相對光學(xué)顯微鏡)
成像速度快
大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
應(yīng)用:
臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求,其應(yīng)用領(lǐng)域極其廣泛,包括:粉末、金相、制藥、造紙、半導(dǎo)體、微電子、生命科學(xué) ……