利用寬幅氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行切割、拋光、研磨和鍍膜處理,從而得到高質(zhì)量SEM 成像和分析結(jié)果。
全自動(dòng)氬離子拋光系統(tǒng)適合用于制備 SEM 樣品,可以得到無(wú)損的表面、橫截面和鍍層,以保護(hù)樣品或克服非導(dǎo)電樣品的荷電問(wèn)題。
· 只需一次抽真空,就可現(xiàn)實(shí)對(duì)樣品的拋光、刻蝕或鍍膜
· 在低至 100 伏的電壓下刻蝕,從而快速地得到無(wú)損樣品表面
· 可制備直徑高達(dá) 32 毫米的樣品
· 在不暴露于空氣的情況下,將樣品從 PECS™ II 儀器轉(zhuǎn)移到 SEM/FIB 或手套箱中(可選)
· 利用 Gatan 的 DigitalMicrograph® 軟件存儲(chǔ)和分析圖像,數(shù)字光學(xué)成像
· 集成的 10 英寸彩色觸摸屏顯示和控制所有 PECS II 參數(shù)