產(chǎn)品名稱:單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號: PECVD-12DZVK 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
VPECVD-12DZVK 立式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
RPECVD-12DZVK 轉(zhuǎn)管式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
PECVD系統(tǒng)應用:
PECVD:是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).
PECVD系統(tǒng)的中文名是等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)。是在CVD的基礎上加一個射頻電源,這個射頻電源通過感應線圈使管式爐爐管內(nèi)氣體形成等離子體,等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,從而在基片上沉積出所期望的固態(tài)沉積物。PECVD具有比普通CVD沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高、沉積所需的溫度低等優(yōu)點。PECVD是由CVD系統(tǒng)再加一個PE500射頻電源、線圈組成
PECVD系統(tǒng)組成:
PECVD系統(tǒng)=等離子電源+管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)(或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng))
單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)配置選擇:
配置一:管式真空氣氛爐:
SK2-12DZ 管式真空氣氛爐,1200℃,管徑:50、60、80、100、150mm
VSK2-12DZ 立式管式真空氣氛爐,1200℃,管徑:60、80、100mm
RSK2-12DZ 轉(zhuǎn)管式真空管式氣氛爐,1200℃,管徑:60mm
配置二:真空抽氣系統(tǒng):
可以選配:LVSE-0.1;LVSE-0.1A;HVSE
LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應用:
該系統(tǒng)為一組低真空機組設備,控制設備真空度小于1Pa一下;配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用
設備組成:設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成
技術(shù)參數(shù):
1、 真空泵:FX-16
2、 真空泵抽氣速度:16m3/h(4L/s)
3、 真空泵極限壓強:(Pa)≤4*10-2
4、 高真空擋板閥:KF25不銹鋼高真空擋板閥
5、 真空波紋管:KF25*1000mm
6、 真空計VRD-I:規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
7、 電源功率:220v/50Hz;0.8kw
8、 出氣進氣口規(guī)格:KF25
9、 連接口:2個KF25接口
LVSE-0.1A可調(diào)低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應用:
該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機組設備,控制設備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間;配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用
設備組成:設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調(diào)節(jié)閥門等組成;
技術(shù)參數(shù):
1、 真空泵:FX-16
2、 真空泵抽氣速度:16m3/h(4L/s)
3、 真空泵極限壓強:(Pa)≤4*10-2
4、 高真空擋板閥:KF25不銹鋼高真空擋板閥
5、 真空波紋管:KF25*1000mm
6、 真空計:VRD-I:
7、 規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
8、 電源功率:220v/50Hz;0.8kw
9、 調(diào)速變頻器:0.75kw
10、 壓強控制范圍:1.0KPa—100KPa
11、 壓強控制精度:±1KPa
12、 出氣進氣口規(guī)格:KF25
13、 連接口:2個KF25接口
HVSE高真空控制系統(tǒng):
產(chǎn)品應用:
該系統(tǒng)為一組復合分子泵、前級抽氣泵機組設備,控制設備真空度小于8*10-4Pa;配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設備使用;廣泛應用于表面分析、半導體設備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究
設備組成:設備由復合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)(復合真空計)、控制電源組成
產(chǎn)品特點:
預抽氣旁路設計,前級抽氣不經(jīng)過分子泵避免預抽氣體中顆粒進入分子泵
技術(shù)參數(shù):
1、 前級真空泵:TRP-24
2、 真空泵抽氣速度:4L/s
3、 分子泵:FJ-620
4、 抽氣速率:600L/s
5、 分子泵極限壓強:6*10-6Pa
6、 建議啟動壓強:<100Pa
7、 排氣口法蘭:KF40
8、 進氣口法蘭:DN160LF
9、 波紋管:KF40*1000mm
10、 復合真空計:ZDF-III
11、 真空電磁擋板閥:KF40
12、 真空腔體真空度:<8*10-4Pa
13、 工作電壓:220v/50Hz
配置三:多路供氣系統(tǒng):
ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應用:
ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設備組成:多路進氣管路、質(zhì)子流量計、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點:
1、 幾路進氣客戶自由定制,標準接口,方便連接
2、 液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量,實時查看各路氣體流量曲線
3、 每條氣路均設置高壓截止閥,方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù):
1、 氣體通路:X條客戶自由定制
2、 氣體類型:客戶自由選擇
3、 流量計量程:5—500SCCM;1—10SLM自由選擇
4、 工作電壓:220v/50Hz
5、 工作壓差:0.1-0.5MPa
6、 壓力:3MPa
7、 準確度:±1.0%F.S
8、 質(zhì)子流量計相應時間:<1S
9、 測量范圍:0.1-0.15MPa
10、 混氣罐:304不銹鋼
11、 進出氣接口:直徑6mm不銹鋼卡套接口
12、 管道:內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管;外部管采用6mm聚四氟管
13、 控制系統(tǒng):PLC控制系統(tǒng),液晶觸摸屏輸入,每路氣路獨立控制
FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應用:
FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設備組成:多路進氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點:
1、 幾路進氣客戶自由定制,標準接口,方便連接
2、 手動調(diào)節(jié)浮子流量計,方便快接
3、 每條氣路均設置高壓截止閥,方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù):
1、 氣體通路:X條客戶自由定制
2、 氣體類型:客戶自由選擇
3、 流量計量程:10-100ml/min;25-250ml/min;50-500ml/min自由選擇
4、 壓力表:-0.1MPa---0.15MPa,0.01MPa/格
5、 混氣罐:304不銹鋼
6、 進出氣接口:直徑6mm
7、 管道:內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管
配置四:等離子電源
1.型號:PE-500
2.噪音:<>
3.冷卻:風冷
4.反向功率:200W
5.電源:208-240VAC,50/60Hz
6.輸出功率:5-300W 可調(diào)穩(wěn)定性±1%
7.射頻電源頻率:13.56MHz ±0.005%
8.射頻電源電子輸出端口:50Ω,N型半導體,陰極