阿爾維勒半導(dǎo)體設(shè)備用伺服液壓站,為在半導(dǎo)體封裝設(shè)備領(lǐng)域，和中科院通過(guò)技術(shù)合作，安全替代了奧地利EVG公司的氣液結(jié)合系統(tǒng)，在光刻納米壓沖技術(shù)領(lǐng)域里(N12)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)上的突破和超越。為半導(dǎo)體芯片的制造提供均勻壓力的同時(shí)并將位移最高精度控制在0.75μm，保證了芯片可以發(fā)揮更好的性能和更優(yōu)的能耗，同時(shí)將液壓動(dòng)力系統(tǒng)的噪音降至蕞低55dB(A) 。

是獨(dú)立的液壓裝置，它按驅(qū)動(dòng)裝置(主機(jī))要求供油，并控制油流的方向、壓力和流量，它適用于主機(jī)與液壓裝置可分離的各種液壓機(jī)械下，由電機(jī)帶動(dòng)油泵旋轉(zhuǎn)，泵從油箱中吸油后打油，將機(jī)械能轉(zhuǎn)化為液壓油的壓力能。

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