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氣體流量控制器 (MFC)/流量測(cè)量?jī)x (MFM)

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8745 型質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)適用于大量氣體的質(zhì)量流量調(diào)控。8745 型設(shè)備可以根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC?？梢赃x擇校準(zhǔn)四種不同的氣體。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達(dá)到非?？斓捻憫?yīng)速度。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8745 型作為 MFC 提供兩種規(guī)格：帶電磁比例閥和帶電動(dòng)比例閥。