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YZR不銹鋼硅烷燃燒塔

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更新時(shí)間：2022-09-01 10:18:27瀏覽次數(shù)：294次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

YZR不銹鋼硅烷燃燒塔

詳細(xì)介紹

一、概述

我公司生產(chǎn)的不銹鋼硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對(duì)國(guó)外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來(lái)滿足國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化。

二、工作原理

根據(jù)硅烷尾氣與空氣接觸而自燃的特點(diǎn)，生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的硅烷尾氣由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒筒進(jìn)行燃燒處理，經(jīng)過(guò)燃燒筒處理的尾氣再由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒塔進(jìn)行二次燃燒處理，燃燒處理后的氣體進(jìn)入燃燒塔的噴淋室進(jìn)行一次噴淋處理再穿過(guò)填料層進(jìn)入第二次噴霧處理，使尾氣與中和循環(huán)液進(jìn)行充分的逆向接觸反應(yīng)，然后通過(guò)脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排出。

三、產(chǎn)品外形