激光具有良好的時間相干性，因此據(jù)此研發(fā)了包括單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、X射線干涉儀等多種激光干涉儀。其中雙頻激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中*成功的應(yīng)用之一。深圳市中圖儀器股份有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000
國內(nèi)品牌激光干涉儀利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，在不同領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。
在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用 激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測是目前的高效、高精度的檢測方法?？捎糜诖笠?guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機(jī)床等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻干涉儀應(yīng)用*多。
位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo)。與傳統(tǒng)檢定方法相比，激光干涉儀具有高精度和高效率，能及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)，在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。
位移傳感器 激光干涉儀反應(yīng)速度快、測量精度高、易于數(shù)字化測量的特點，使其在位移傳感器鑒定中的應(yīng)用是一大發(fā)展趨勢。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進(jìn)行測試對比，得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。
隨著精密測量的性能需求愈來愈高，激光干涉測量技術(shù)在精度、分辨率、測量速度等方面的性能不斷進(jìn)步。SJ6000
國內(nèi)品牌激光干涉儀是實現(xiàn)大量程納米測量的重要方法，具有測量精度高、測量范圍大及對待測振動表面無干擾等特點，已廣泛應(yīng)用于航天器微振動的地面測試、雷達(dá)目標(biāo)識別、精密機(jī)械制造、材料探傷等領(lǐng)域。
產(chǎn)品描述 - 集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；
- 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；
- 采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；
- 采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；
- 采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/li>
功能特點 1.精度高
（1）采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)長期穩(wěn)定性好、抗力強(qiáng)的激光波長輸出；
（2）采用高精度環(huán)境補(bǔ)償單元，可實現(xiàn)波長和材料的手動或自動補(bǔ)償；
（3）干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，確保干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參量的精密測量；
（2）配合WR50自動精密轉(zhuǎn)臺，可實現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸的角度測量與校準(zhǔn)；
（3）適用于測量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等；
（4）可根據(jù)檢測程序自動生成數(shù)控機(jī)床的運行程序；
（5）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
3.軟件強(qiáng)
（1）友好的人機(jī)界面，向?qū)降牟僮髁鞒蹋?br> （2）豐富的應(yīng)用功能模塊，強(qiáng)大的分析功能模塊；
（3）簡潔化的記錄管理，且支持企業(yè)專屬模板定制；
（4）支持中文簡體、中文繁體、英文、韓文和俄文界面。
4.標(biāo)準(zhǔn)多
內(nèi)置14份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
功能模塊 SJ6000
國內(nèi)品牌激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺
光學(xué)鏡組構(gòu)建 1、線性測量
線性測量構(gòu)建 進(jìn)行線性測量要用到“線性干涉鏡”和“線性反射鏡”。激光從SJ6000主機(jī)出射，通過分光鏡后將分成兩束激光，一束激光為通過角錐反射鏡的參考光，另一束為通過角錐反射鏡的測量光，通過移動“線性反射鏡”可以實現(xiàn)運動軸的線性測量。
2、垂直度測量
垂直度測量構(gòu)建 垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度θ2。
3、
回轉(zhuǎn)軸測量 回轉(zhuǎn)軸測量需要WR50自動精密轉(zhuǎn)臺與SJ6000角度鏡組配合使用。WR50作為角度標(biāo)準(zhǔn)器，自身精度為±1''，使用時需固定在被測轉(zhuǎn)軸上，借助SJ6000角度測量功能，即可實現(xiàn)被測轉(zhuǎn)軸0-360°任意角度的高精度測量。
測量原理：當(dāng)回轉(zhuǎn)軸正傳5°，WR50則跟隨反轉(zhuǎn)5°，此時相對于激光干涉儀而言并未產(chǎn)生較大的實際角度值，軟件將WR50的角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計算，得出回轉(zhuǎn)軸實際轉(zhuǎn)動的角度。
動態(tài)測量 1.基于時間的動態(tài)測量
SJ6000
國內(nèi)品牌激光干涉儀的動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。通常用于一段測量時間內(nèi)設(shè)備的位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析。
2.基于位置的動態(tài)測量
CT70正交出發(fā)和可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，進(jìn)行位移數(shù)據(jù)的連續(xù)采集。
注意事項 - 對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
- 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
- 平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
- 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
- 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
- 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
