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更新時(shí)間:2022-09-22 12:20:34瀏覽次數(shù):122次
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alicat MC氣體質(zhì)量流量控制器
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MC & MCR系列質(zhì)量流量控制器參數(shù) 0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程
1. 數(shù)字信號(hào)輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。 2. 模擬信號(hào)&第二道模擬信號(hào)(選配)輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力或溫度。 3. 若選擇 PROFIBUS,則無(wú)模擬信號(hào)。關(guān)于 PROFIBUS 設(shè)備供電電壓與電流 , PROFIBUS 和 Modbus 設(shè)備無(wú)屏幕顯示。 氣體選擇(Gas Select™)5.0 版預(yù)置 98 種常用氣體: 參見(jiàn)下頁(yè)完整氣體列表。 若您的氣體不在標(biāo)準(zhǔn)列表中,請(qǐng)聯(lián)系我們,艾里卡特®可訂制多達(dá)八種氣體成份的復(fù)雜混合氣體。 若為腐蝕性氣體或制冷劑,請(qǐng)參見(jiàn) MCS 系列質(zhì)量流量控制器。
精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) :± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
典型響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒(可調(diào)整典型響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒(可調(diào)整)
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