臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA

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產(chǎn)品型號KLA-Tencor D-300 D-500

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更新時間：2022-12-06 14:34:47瀏覽次數(shù)：459次

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  物理物性測試

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上海玖析科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA，垂直分辨率:0.38A，它廣泛應用于太陽能薄膜材料、半導體硅片、微電子器件、薄膜化學涂層、平板顯示器等研究領域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。

詳細介紹

臺階儀的工作原理。臺階儀主要的工作就是測量，當臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現(xiàn)出來。當輸出的信號經(jīng)過測量的電橋之后，輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調幅的信號也就隨之出現(xiàn)，經(jīng)過放大和整流之后，位移信號就從調幅信號中解調出來了，信號就變得相應緩慢，半導體厚度測試臺階儀，也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調制頻率以及外界的干擾信號等因素進行進一步的過濾，誤差所帶來的影響也隨之減小。

典型應用：太陽能電池、太陽能集熱器等 PVD(物理氣相沉積)太陽能涂層研究，對薄膜材料常規(guī)性能的檢測臺階膜厚儀

它廣泛應用于太陽能薄膜材料、半導體硅片、微電子器件、薄膜化學涂層、平板顯示器等研究領域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。

美國KLA-Tencor公司

在四十年來半導體及相關產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，KLA-Tencor作為工藝控制領域的行業(yè)，借助創(chuàng)新的光學技術、精準的傳感器系統(tǒng)以及高性能計算機信息處理技術，持續(xù)研發(fā)并不斷完善檢測、量測設備及數(shù)據(jù)智能分析系統(tǒng)。

生產(chǎn)，品牌AlphaStep，型號 D-300臺階儀 D-500臺階儀

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300 已升級成D-500臺階儀

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300主要產(chǎn)品特性：

1)垂直分辨率: 0.38A

2) Z測量重復精度:保證5A重復性(1um臺階標樣，無需防震臺，用2um探針驗收)

3)掃描時***小正壓力: 0.5mg (軟件可編程選擇和自動控制,無需手動)

4)采樣點數(shù)400,000

5)探針曲率半徑2微米

6)有KLA-Tencor標定證書的1um標樣一塊

7)斜視光學系統(tǒng)，500萬像素彩色攝像頭Keystone圖像糾正

8)系統(tǒng)配有150x150mm口徑的超大超厚超光滑平晶

9）具有雙向掃描測量的功能