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YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510

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產品簡介

YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510 PR500 / 510是廣泛用于這種應用,生產半導體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性,具有自動調諧系統(tǒng)作為標準組件及其他功

詳細介紹



YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510
PR500 / 510是廣泛用于這種應用,生產半導體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性,具有自動調諧系統(tǒng)作為標準組件及其他功能。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510
YAMATO氣體等離子體刻蝕機特點:
• 它具有一個緊湊的設計,具有小尺寸的高頻發(fā)生器和一個振蕩部分集成在一起的腔室的一部分。
• 隨著直徑215毫米大口徑室,單位可以處理大的測試樣品。

YAMATO氣體等離子體刻蝕機產品規(guī)格:

產品規(guī)格
模型 PR500 PR510
桶型直等離子
控制部分
高頻輸出 max 500W
振蕩頻率 13.56 MHz
輸出阻抗 50Ω
調整方法 自動調諧
儀器 輸出功率表(0?600W)
反射波功率表(0?300W)
真空壓力表,熱電偶式
流量計,針型閥集成型,2臺
定時器 0.1秒。到999H
進氣口 1/4“不銹鋼,2入口
電源(50 / 60Hz) AC 100 / 220V,單相,2千伏安
反應部分
反應室 石英制成的,φ215×305毫米
電極結構 聚光型,四分割
控制系統(tǒng) 自動減壓,自動閥泄漏 觸摸屏與PLC控制
配管材料 SUS,鐵弗龍
外形尺寸(W×D×嗯) 438×520×760 520×630×760
重量 約38千克 約60公斤
YAMATO氣體等離子體刻蝕機標準配件
連接電纜:1配套
真空潤滑脂:1件
O形圈的反應室:1件。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機可選配件
幀的晶片,2,3,4,5,6英寸
多用途傾斜的框架
鋁蝕刻隧道,架

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