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掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)Prisma E SEM

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更新時(shí)間:2023-03-01 14:50:46瀏覽次數(shù):301次

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掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

FEI Prisma E SEM 掃描電子顯微鏡

 

結(jié)合了成像性能和的環(huán)境模式(Thermo Scientific ESEM™),同時(shí)兼容廣泛的硬件和軟件選型,可滿足多用戶(hù)實(shí)驗(yàn)室的綜合應(yīng)用需求。

Prisma E SEM 的三種真空模式(高真空、低真空和環(huán)境掃描模式【ESEM】)使得系統(tǒng)具有靈活性,可以容納任何 SEM 可用的廣泛的樣品類(lèi)型,包括放氣的、未鍍導(dǎo)電膜的或者是與真空狀態(tài)不相容的樣品。

多種檢測(cè)器選項(xiàng)(定向背散射探測(cè)器、STEM、熒光探測(cè)器等)提供了所有必要的樣品信息。探測(cè)器信號(hào)同步采集和顯示,可以在較短的時(shí)間內(nèi)提供答案。

 

主要優(yōu)勢(shì)

1、在自然狀態(tài)下對(duì)材料進(jìn)行原位研究: Prisma E SEM提供的環(huán)境掃描模式(ESEM)。

2、較大程度縮短樣品制備時(shí)間:低真空和環(huán)境真空技術(shù)可針對(duì)不導(dǎo)電和/或含水樣品直接成像和分析,樣品表面無(wú)荷電累積。

3、觀察所有樣品獲取信息:在每種操作模式下均可同時(shí)進(jìn)行SE和BSE成像。

4、原位分析:配置專(zhuān)門(mén)的原位實(shí)驗(yàn)臺(tái),溫度范圍從-165℃到1400℃。

5、*的分析功能:大樣品倉(cāng)可同時(shí)安裝3個(gè)EDS探測(cè)器、WDS和共面EDS/EBSD,其中兩個(gè)EDS端口為180°正對(duì)。

6、*的不導(dǎo)電樣品分析功能:借助多級(jí)“穿過(guò)透鏡"的壓差真空系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)低真空下的高質(zhì)量EDS 和 EBSD 分析。

7、高精度優(yōu)中.心樣品臺(tái),105°傾斜角度范圍,可觀察樣品。

8、軟件直觀、簡(jiǎn)便易用,配置用戶(hù)向?qū)Ъ?Undo(撤銷(xiāo))功能,新手用戶(hù)可進(jìn)行操作,專(zhuān)家用戶(hù)也可進(jìn)行更少的操作,完成快速分析。

9、廣泛的配置選項(xiàng),包括可伸縮的RGB熒光(CL)探測(cè)器、1100℃高真空熱臺(tái)、_Heater 和Autoscript(基于Python的腳本工具API)。

 

 

材料科學(xué)SEM

對(duì)于需要方位性能和易用性的多用戶(hù)實(shí)驗(yàn)室而言,完整的SEM。

新型Prisma E掃描電子顯微鏡(SEM)將各種成像和分析模式與新的*自動(dòng)化相結(jié)合,為同類(lèi)儀器提供完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率,樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業(yè)研發(fā),質(zhì)量控制和故障分析應(yīng)用。Prisma E成功獲得了為成功的Quanta SEM。

 

特色的成像

多用戶(hù)實(shí)驗(yàn)室需要顯微鏡在短時(shí)間內(nèi)生成具有相關(guān)數(shù)據(jù)的高質(zhì)量圖像。Prisma E采用基于管組件的強(qiáng)大成像系統(tǒng)滿足了這一需求,可在各種光束能量和真空條件下提供好的結(jié)果。在所有這些條件下,地形圖和成像圖都提供必要的樣本信息。通過(guò)同步采集,該信息可供隨后進(jìn)一步解釋和分析。

 

 

 

 

 

 

 

 

輕松導(dǎo)航

尋找感興趣的區(qū)域甚至找到樣品本身都是一項(xiàng)繁瑣的工作……但不是在Prisma E上。室內(nèi)導(dǎo)航相機(jī)(Nav-Cam)提供樣品架的詳細(xì)照片,使其易于使用一個(gè)會(huì)話中的多個(gè)樣本并逐個(gè)導(dǎo)航到它們。在示例中,只需單擊它即可轉(zhuǎn)到感興趣的區(qū)域。導(dǎo)航凸輪圖像與樣本一起旋轉(zhuǎn),因此導(dǎo)航非常直觀。

 

 

 

 

 

樣本靈活性

今天的研究超越了傳統(tǒng)金屬和涂層樣品 – 非導(dǎo)電材料,大型或重型樣品,臟樣品甚至濕樣品都需要在微觀尺度上進(jìn)行研究。Prisma E具有三種成像模式 – 高真空,低真空和ESEM™ – 適用于任何SEM的廣泛樣品。此外,Prisma E的腔室適合大樣品,并配備110×110 mm 5軸電動(dòng)中.心平臺(tái),傾斜范圍為105°,可以從各個(gè)角度觀察樣品。

 

 

 

 

支持分析

Prisma E的分析室支持對(duì)元素(EDX,WDS)和晶體學(xué)(EBSD)樣品數(shù)據(jù)的日益增長(zhǎng)的需求,該分析室支持多個(gè)EDX檢測(cè)器以提高通量并清除陰影效應(yīng)。此外,分析室支持共面EDX / EBSD和平行光束WDS,以確保所有技術(shù)的定位。得益于Prisma E的原位功能,即使在絕緣或高溫樣品上也能獲得可靠的分析結(jié)果。
光子學(xué),地球科學(xué),陶瓷,玻璃和故障分析應(yīng)用的附加樣品信息來(lái)自的可伸縮RGB發(fā)光檢測(cè)器。

 

 

 

典型應(yīng)用包括:

1、納米表征:

– 金屬及合金、斷口、焊點(diǎn)、拋光斷面、磁性及超導(dǎo)材料

– 陶瓷、復(fù)合材料、塑料

– 薄膜/涂層

– 地質(zhì)樣品斷面、礦物

– 軟材料:聚合物、藥物、濾膜、凝膠、生物組織、植物材料

– 顆粒、多孔材料、纖維

 

2、原位表征:

– 結(jié)晶/相變

– 氧化反應(yīng)、還原反應(yīng)、催化反應(yīng)

– 材料生長(zhǎng)

– 水合/脫水/潤(rùn)濕/接觸角分析

– 拉伸 (伴隨加熱或冷卻)

 

技術(shù)參數(shù):

1、電子光學(xué):

1)發(fā)射源:鎢燈絲(高性能電子光學(xué)鏡筒,雙陽(yáng)熱發(fā)射電子槍?zhuān)?/p>

2)固定式物鏡光闌,無(wú)需手動(dòng)調(diào)整使用方便

3)加速電壓:200V – 30kV,自動(dòng)256級(jí)偏壓設(shè)計(jì)

4)放大倍數(shù):6x – 1,000,000×

5)有一路單獨(dú)抽真空系統(tǒng),保證在低真空和環(huán)境模式下電子槍高真空和不受污染,延長(zhǎng)燈絲壽命

6)使用工廠預(yù)對(duì)中燈絲更換方便

2、真空系統(tǒng)

1)1個(gè)250 l/s分子渦輪泵+1個(gè)機(jī)械泵

2)高真空模式:<1×10-5 Pa

3)低真空模式:10 – 130 Pa

4)環(huán)境真空模式:10 – 2600 Pa

5)高真空模式下的換樣時(shí)間:≤150秒

6)低真空及環(huán)境真空模式下的換樣時(shí)間:≤270秒

3、電子束分辨率

A:高真空模式下成像

1)30 kV下3.0 nm (SE二次電子)

2)30 kV下4.0 nm (BSE背散射電子)

3)3 kV下8.0 nm (SE二次電子)

B:電子束減速下高真空模式下成像

1)7.0 nm @ 3 kV (電子束減速模式 + DBS)

C: 低真空模式下成像

1)3.0 nm @ 30 kV (SE二次電子)

2) 4.0 nm @ 30 kV (BSE背散射電子)

3)10 nm @ 3 kV (SE)

D:環(huán)境模式下成像

1)30 kV下3.0 nm (SE二次電子)

4、樣品倉(cāng)

1)內(nèi)寬:340 mm

2)分析工作距離:10 mm

3)端口:12

4)EDS 出射角:35°

5)可同時(shí)安裝三個(gè) EDS 探測(cè)器,其中兩個(gè)處于 180°正對(duì)

6)共面 EDS/EBSD ,與樣品臺(tái)傾斜軸垂直

7)通用 9 針電氣接口

 

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