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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)

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  • 產(chǎn)品描述

二氯硅烷氦離子色譜儀儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市*成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目、上海市重點(diǎn)新產(chǎn)品、上海市火炬計(jì)劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號(hào)。

項(xiàng)目名稱指標(biāo)
三氯氫硅(SiHCl3 )含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 10
(一氯硅烷+)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以計(jì)(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 50
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 1
(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 1
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 1
氫(H2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 10
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 1
總烴(THC)含量,以甲烷(CH4)計(jì)(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 1
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg) ≤0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg) ≤0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg) ≤0.1
銻(Sb)含量/(µg/kg) ≤0.1
銦(In)含量/(µg/kg) ≤0.1
鈣(Ca)含量/(µg/kg) ≤1
鉻(Cr)含量/(µg/kg) ≤1
鐵(Fe)含量/(µg/kg) ≤5
鉀(K)含量/(µg/kg) ≤1
鈉(Na)含量/(µg/kg) ≤0.2
鎳(Ni)含量/(µg/kg) ≤1
鉬(Mo)含量/(µg/kg) ≤0.1
錳(Mn) 含量/(µg/kg) ≤0.2
銅(Cu)含量/(µg/kg) ≤0.2
鎘(Cd) 含量/(µg/kg) ≤0.5
鈷(Co)含量/(µg/kg) ≤0.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg) ≤0.1

關(guān)鍵詞:離子色譜儀
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