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上海華械自動化設(shè)備有限公司
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更新時間：2022-10-20 16:04:41瀏覽次數(shù)：575次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線日本KOFLOC 5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光 金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下內(nèi)部拋光Ra≤0.1，杜絕二次污染介質(zhì)±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用適用于高真空、半導(dǎo)體以及對管路潔凈度高要求場合
5100質(zhì)量流量控制器 | |
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
精度 | ±1.0%FS |
重復(fù)性 | ±0.2%FS |
響應(yīng)時間 | 1秒以內(nèi) |
耐壓 | 1.0Mpa |
進(jìn)口壓力 | O.3Mpa |
動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m3/s以下 |
內(nèi)拋光 | Ra≤0.1 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) |
材質(zhì) | 本體SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路連接 | 標(biāo)配1/4UJR |
選配1/8UJR | |
重量 | 約1000g |
針腳/顏色 | 定義 |
1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
3針腳/紅色 | +15VDC |
4針腳/黑色 | 電源COM |
5針腳/黃色 | -15VDC |
6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
7針腳/綠色 | 輸出COM |
8針腳/蘭色 | 輸入COM |
9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口壓力3公斤。
五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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