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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間:2023-01-19 08:38:19瀏覽次數(shù):306次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述型號(hào):Zeta-380/Zeta-380I產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)品牌:Zeta澤塔簡(jiǎn)介:zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝
Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述
型號(hào):Zeta-380/Zeta-380I
產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)
品牌:Zeta澤塔
簡(jiǎn)介:zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝,檢查HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化
Zeta-380/Zeta-380I晶圓檢測(cè)和計(jì)量HBLED
的zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝檢驗(yàn)HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化快掃描缺陷全英寸晶圓為小1μ米直徑在2.5分鐘。使用缺陷的地圖審查與高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀的缺陷,小于30秒每缺
Zeta-380/Zeta-380I簡(jiǎn)單的操作
簡(jiǎn)單的配方和缺陷檢查結(jié)合自動(dòng)缺陷審查使用缺陷地圖文件
完成的zeta-380i包可以配置所有的軟件和硬件需要全面的缺陷檢測(cè)和分析–以及Zeta的證明光學(xué)技術(shù)測(cè)量和報(bào)告系統(tǒng)的尺寸檢測(cè)- >檢討- >措施>分類
縮短過程反饋的前置時(shí)間,節(jié)省了寶貴的時(shí)間。的zeta-380i配備自動(dòng)缺陷審查功能節(jié)省了時(shí)間和簡(jiǎn)化了缺陷分析
從zeta-380i 3D圖像分析為大多數(shù)缺陷的答案。這減少了需要審查的耗時(shí)和昂貴的原子力顯微鏡或掃描電鏡分析的缺陷的數(shù)量。
Zeta-380/Zeta-380I系統(tǒng)的特點(diǎn)
相機(jī)選項(xiàng):640x480,1024x768 1280x960
放大倍數(shù):35000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字
照明:三(3)超亮白光LED
機(jī)動(dòng)化階段:150mm×150mm XY旅游
Z軸行程:40mm
Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格
Zeta-380/Zeta-380I缺陷檢測(cè)
尺寸(mm)
系統(tǒng)(寬):1000 x 860 x 840
計(jì)算機(jī):381×457×102
監(jiān)視器:596×449×240
總重量:145磅/ 65公斤
Zeta-380/Zeta-380I操作規(guī)范
電壓:100 - 230伏
電流:4A
操作溫度:18-30°C,非—
凝結(jié),每小時(shí)1°C
1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn),100X / 0.9n
目的,壓階段,與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式
Zeta-380/Zeta-380I性能配置
缺陷:150秒為一個(gè)完整的4英寸圓片
~ PSS計(jì)量:30秒/網(wǎng)站
三維缺陷審查:~ 30秒/站點(diǎn)的典型(zdot)
~ 10秒/網(wǎng)站zsi
像素分辨率:0.09μm 0.5X耦合器和100
民z-step:2 nm可壓階段
13納米與標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動(dòng)器
z軸分辨率:1?zsi選項(xiàng)
13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot
repeatability3:7海里(1σ
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