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雙離子束濺射鍍膜機(jī) Coat 500 德國(guó)scia Systems

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產(chǎn)品型號(hào)Coat 500

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更新時(shí)間：2023-07-06 14:36:22瀏覽次數(shù)：259次

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簡(jiǎn)介sciaCoat500雙離子束濺射鍍膜機(jī)，用于精密光學(xué)的大尺寸基板的高均勻性鍍膜，菜單控制的沉積過(guò)程可保證鍍膜質(zhì)量的重復(fù)性

詳細(xì)介紹

簡(jiǎn)介

scia Coat 500雙離子束濺射鍍膜機(jī)，用于精密光學(xué)的大尺寸基板的高均勻性鍍膜，菜單控制的沉積過(guò)程可保證鍍膜質(zhì)量的重復(fù)性。最多可以允許4種擋板，可以提高均勻性，也可以沉積設(shè)計(jì)的梯度薄膜。

常規(guī)屬性

- 主離子源用于濺射靶材到樣品基底上，沉積成膜；次離子源用于樣品表面離子束轟擊清洗或輔助鍍膜。

- 可沉積介質(zhì)和金屬膜，用于光學(xué)濾波器、X射線(xiàn)反射鏡、同步輻射鏡等

- 可沉積漸變膜（比如Gobel 鏡）

- 具有在線(xiàn)基底預(yù)處理（刻蝕、清洗、平滑化）功能

- 通過(guò)基板旋轉(zhuǎn)與線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)的疊加，可以獲得的沉積均勻性

- 轉(zhuǎn)鼓靶架上最多可有6個(gè)水冷靶材料，用于在線(xiàn)更換

- 使用石英晶振和/或光學(xué)厚度監(jiān)視器（OTM），菜單式控制多層膜沉積

- 通過(guò)線(xiàn)性軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)梯度薄膜沉積或表面誤差校正

- 可選襯底加熱至250°C以?xún)?yōu)化薄膜應(yīng)力

系統(tǒng)性能