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更新時(shí)間：2023-08-29 21:10:12瀏覽次數(shù)：157次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線針對(duì)微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量定制的專用型光譜橢偏儀
一、概述
SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀，其采用行業(yè)橢偏創(chuàng)新技術(shù)，自主獨(dú)立研發(fā)出行業(yè) 1 超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù)， 2 定制超快測(cè)量速度，等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量，適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。
二、特色功能
■ 可定制光斑尺寸，最小可達(dá)30um；
■ 超快測(cè)量，單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ；
■ 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；
■ 結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測(cè)量.
三、測(cè)量實(shí)例
微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量
四、應(yīng)用場(chǎng)景
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量，適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
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