污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間:2023-03-21 18:43:43瀏覽次數(shù):253次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線本設(shè)備基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。
一、目的
本設(shè)備基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。
二、測(cè)量系統(tǒng)規(guī)格
SE-VM光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)
橢偏儀測(cè)頭規(guī)格:
光譜范圍:380-1000nm(可擴(kuò)展紅外波段至1650nm)
入射角:55/60/65/70/75°(斜入射,手動(dòng)變角),90°(直通模式)
光斑大小:2-3mm,(可擴(kuò)展微光斑200μm)
重復(fù)性測(cè)量精度:0.01nm(100nm 硅基SiO2薄膜)
膜厚測(cè)量范圍:0.5nm-20μm
單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間:0.5-5s
光源:高性能進(jìn)口光源(工作壽命:2,000h)
可視化樣品顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
圖1光譜橢偏測(cè)頭原理圖
圖2 SE-VM光譜橢偏儀實(shí)物圖
樣品臺(tái)規(guī)格:
基板尺寸:*大支持樣件尺寸到Ф180mm
Z軸位移行程:0-10mm
樣件臺(tái)俯仰角度:> ±2°
測(cè)控與分析軟件
光譜測(cè)量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測(cè)量
數(shù)據(jù)分析能力:具備單層、多層各向同性/異性膜厚、光學(xué)常數(shù)(折射率、消光系數(shù))分析能力
支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能
支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴(yán)格耦合波模型、等效介質(zhì)模型
支持用戶自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,支持windows7操作系統(tǒng)
測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)
操作系統(tǒng):WIN10 64位
CPU處理器:Intel 酷睿I3
內(nèi)存:≥4G
硬盤:≥500G
顯示器:≥19寸
配件
標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣
標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套
環(huán)境要求
橢偏儀承載臺(tái):尺寸>1.5m(長(zhǎng))× 1.0 m(寬),承載能力大于50Kg(建議光學(xué)隔振)
使用溫度范圍:20 ~ 26 ℃
相對(duì)濕度:35% ~ 60% RH
空氣壓力范圍:750~1014 mbar
潔凈度: Class 10000
能源要求
供電電源電壓:220V AC
正常頻率范圍:49-51Hz
相電流:有效值小于0.5A(220V AC)
功率:小于110 W
涂裝與表面處理
涂裝顏色:以黑色為主
表面處理:鍍化學(xué)鎳、陽(yáng)極處理、烤漆等
質(zhì)保與售后服務(wù)
整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個(gè)月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時(shí)免費(fèi)維修,對(duì)非人為造成的各類零件損壞,及時(shí)免費(fèi)更換
測(cè)控與分析軟件:升級(jí),數(shù)據(jù)分析軟件提供拷貝
為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)
提供12個(gè)月免費(fèi)數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持,免費(fèi)期為用戶提供樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫(kù)升級(jí)服務(wù)
供方在接到故障報(bào)修信息后,供方維修人員12小時(shí)內(nèi)電話響應(yīng),*晚48小時(shí)內(nèi)供方服務(wù)工程師進(jìn)行****維修
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