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濟(jì)南三運(yùn)試驗(yàn)儀器有限公司
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更新時(shí)間：2023-06-08 18:47:00瀏覽次數(shù)：162次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線詳細(xì)描述:儀器適用范圍：伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品
| 詳細(xì)描述: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
儀器適用范圍： 伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng)，反射式暗場和偏光系統(tǒng)，使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場合。 儀器特性：
高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，確保儀器在對(duì)各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。 無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡 MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對(duì)各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡 在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換 MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動(dòng)拉桿，即可明場暗場轉(zhuǎn)換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉(zhuǎn)換，操作十分方便。 采用完善的柯拉照明系統(tǒng) MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng)，在整個(gè)視場內(nèi)照明均勻。 MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配套表
注：●為件，○為可選件。 |
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