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SM-150勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2024-05-29 12:17:32瀏覽次數(shù)：86次

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武漢月憶神湖科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【SM-150勻膠機(jī)】是一款手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的高性能勻膠機(jī)，它的優(yōu)點(diǎn)在于具有令人信服的涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。市面上常見(jiàn)的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆。

詳細(xì)介紹

SM-150勻膠機(jī) 產(chǎn)品概述：

SM-150旋涂機(jī)是一款手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的高性能勻膠機(jī)，它的優(yōu)點(diǎn)在于具有令人信服的涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。市面上常見(jiàn)的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆。旋涂工藝腔設(shè)計(jì)的直徑為176mm，為了便于客戶對(duì)旋涂工藝腔清潔上的維護(hù)，SAWATEC公司開(kāi)發(fā)了一種非常實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可以簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù)碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，盡可能的降低了用戶的使用維護(hù)成本。因此，SAWATEC勻膠機(jī)也被應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所等各種場(chǎng)景。

SAWATEC SM-150 Spin Caoter

SM-150勻膠機(jī) 基本功能和技術(shù)參數(shù)：

（1）適用基材類(lèi)型：晶圓片、硅片、玻璃片等表面結(jié)構(gòu)、厚度不大的基材；（防止基板太厚不能合上蓋子）

（2）適用基材尺寸：小碎片至150mm (6英寸) 直徑圓片或者127x127mm (5英寸x5英寸)方片；

（3）可編程設(shè)置多達(dá)50條程序(每條程序包含24個(gè)程序段)；

（4）旋轉(zhuǎn)速度：0 到 10,000rpm （+/-1rpm）

（5）旋轉(zhuǎn)加速度：0–8,000rpm 為0.8秒；0–10,000rpm為1秒。（空載時(shí)）

（6）旋轉(zhuǎn)減速度：10,000rpm-0 為2.5秒；8,000rpm-0 為0.8秒。（空載時(shí)）

（7）工藝時(shí)間：每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 0~99秒，總的工藝時(shí)間可為0~2376秒；

（8）3.5英寸彩色顯示屏的觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置；

（9）旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針、逆時(shí)針；

（10）手動(dòng)裝卸基材，通過(guò)真空和安全互鎖保護(hù)來(lái)固定基材；

（11）手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)；

（12）工藝結(jié)束時(shí)有聲音信號(hào)；

選配項(xiàng)：

（1）半自動(dòng)式50毫升管式滴膠系統(tǒng)，帶有手動(dòng)給膠手臂和回吸功能；

（2）旋涂工藝腔的氮?dú)獯祾撸?/span>

（3）用于簡(jiǎn)化操作的“啟動(dòng)/停止"腳踏開(kāi)關(guān)(電纜長(zhǎng)度 1.8m)；

（4）經(jīng)陽(yáng)極氧化鋁電鍍處理制成旋涂工藝腔；

（5）鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗（內(nèi)襯）；

（6）晶圓對(duì)準(zhǔn)工具 2~6英寸(適用圓形基材)；

（7）勻膠機(jī)吸盤(pán)（chuck）：為了達(dá)成良好的涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的。根據(jù)用途的不同，可使用單塊一體式結(jié)構(gòu)勻膠機(jī)吸盤(pán)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的勻膠機(jī)轉(zhuǎn)接托盤(pán)。勻膠機(jī)吸盤(pán)的安裝、更換過(guò)程非常簡(jiǎn)單，不需要使用工具。

SM-150勻膠機(jī)-選配項(xiàng)