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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
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HMDS真空烤箱,廣東光刻HMDS預(yù)處理烘箱

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)JS-HMDS

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海

更新時(shí)間:2022-07-12 14:53:44瀏覽次數(shù):2375次

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

一、HMDS真空烤箱,光刻HMDS預(yù)處理烘箱技術(shù)參數(shù):

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2400W

控溫范圍:室溫+10-250

溫度分辨率:0.1

溫度波動(dòng)度:±0.5

達(dá)到真空度:133Pa

容積:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450(可選擇)

載物托架:2

時(shí)間單位:min

二、HMDS真空烤箱,光刻HMDS預(yù)處理烘箱特點(diǎn):

1、 采用醫(yī)用級(jí)不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。

3、 微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。

4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進(jìn)口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。

5、 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

6、 整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

三、HMDS真空烤箱,光刻HMDS預(yù)處理烘箱的操作方法:

       六甲基二硅胺(HMDS)是黃光區(qū)zui毒的東西,建議使用HMDS真空烘箱,HMDS真空烘箱預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,開始充人氮?dú)?,充到達(dá)到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮?dú)獾腍MDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過程。
    HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理圈:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。
尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到廢氣收集管道。

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