KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐,是一款通過(guò)CE認(rèn)證的可開(kāi)啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。配有三路質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路,配有真空泵真空可達(dá)10pa,精確的PID程序多段程序控溫,適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等試驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | KJ-T1200-S50-3Z |
爐管直徑 | Φ50 |
加熱區(qū) | 200mm |
溫度溫度 | 1200℃,工作溫度1100℃ |
加熱速率 | 0-20℃/min,建議20℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
控制方式 | PID智能化多段程序控溫 |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
額定電壓 | 110-415V,50/60Hz |
氣路系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì):手動(dòng)智能控制,數(shù)字顯示,; 1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可調(diào) 2.3個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制3種氣體; 3.進(jìn)出氣口:3進(jìn)1出 4.連接方式:雙卡套連接 |
真空系統(tǒng) | 采用國(guó)產(chǎn)真空泵,抽速2.2L/S,真空度可達(dá)10pa,真空度數(shù)顯示在數(shù)顯真空計(jì)上 |
注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
質(zhì)保 | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。