KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)+一個(gè)浮子流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù):
模型 | KJ-T1200 | |
部分:標(biāo)準(zhǔn)件 | ||
管式爐 | 展示 | LED類型 |
限度溫度 | 1200℃ | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 建議:0~10℃/min | |
溫區(qū) | 300mm + 300mm 雙區(qū) | |
加熱元件 | 電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ () | |
管尺寸 | 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L) | |
材質(zhì):石英管 | ||
溫度控制 | 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制 | |
加熱曲線 | 30 步可編程 | |
真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 2 個(gè)帶倒鉤的針閥,裝有機(jī)械壓力表。 法蘭的另一端有一個(gè)帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
功率 | 220V,50 Hz,單相 6KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10 -3 Torr。 管內(nèi)的真空度約為 10 -1 Torr。 (RM溫度和空管條件) 流量:2.6 L / S (泵照片僅供參考,實(shí)際外觀取決于最終設(shè)計(jì)) 旋片真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪子的推車。帶連接附件 包括數(shù)字真空計(jì) 3.8x10 -5 至 1125 Torr 測(cè)量范圍 耐腐蝕,與氣體類型無關(guān) |
帶液晶觸摸屏控制器的定制質(zhì)量流量計(jì) (七星級(jí)品牌) | 一個(gè)浮子流量計(jì) + 四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì): MFC 精度為:±1.5% FS MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm 氫氣 MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷:氣體流量范圍 0~100 sccm 氬氣 MFC 4: 氣體流量范圍 0~100 sccm 氧氣 MFC 5: 氣體流量范圍 0~100 sccm FFC 1 氬氣和氮?dú)饣旌蠚怏w: 氣體流量范圍 0~100sccm 一種氣體混合罐(僅適用于 5 MFC)安裝在底殼上,5 個(gè)不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè),用于手動(dòng)控制 5 種氣體混合。 |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。