該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
產品特點：
1、控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司的知識產權設計,提高操作便捷性。
3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。
參數詳情：
| 產品型號 | KJ-T1200-W2 |
| 管式爐部分 | |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構，配有冷風系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度不超過45℃ |
| 爐膛材質 | *真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 石英管 |
| 爐管尺寸 | OD:50mm*ID:44mm* 長1400mm 管子中間部位開15mm，有個堵塞可堵上 |
| 加熱區(qū)長度 | 200mm+200mm（雙爐體） |
| 爐膛開口 | 每個爐膛對應開寬10mm*長80mm的孔，并可封堵 |
| 法蘭 | 不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥 |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序； 1、采用PID方式調節(jié)控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 測溫元件 | 2支K型熱電偶分別獨立控溫 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 4KW |
| 進出氣口 | 法蘭上含有進出氣口和精密針閥 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 質量流量計 | 二路精密質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm 氣路:2路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量。 |
| 標準配置 | 主機1臺，流量計1套、密封法蘭1對，石英管1支，密封圈4個，爐堵2個，坩堝鉤1把，高溫手套1副、拆卸扳手2把、說明書1份、合格證保修卡1份 |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
