CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 耐腐蝕PP全柜式獨(dú)立勻膠臺
2.勻膠機(jī)底部帶廢膠收集,頂部帶抽風(fēng)功能
3.可升級自動點(diǎn)膠功能,適合工業(yè)化生產(chǎn)
4.集成觸摸屏控制,上下移動式透明觀察窗
5.使用伺服電機(jī)系統(tǒng),性能穩(wěn)定,滿足工業(yè)要求
CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù):
1.旋涂程序:至多存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒
2.轉(zhuǎn)動速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm
3.旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s
4.馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:< ±1rpm
5.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性:1rpm
6.工藝時間設(shè)定: 0-3000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec
7.支持晶圓尺寸25px-300mm(12“圓晶)
8.旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
9..可配備多路自動點(diǎn)膠功能,點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)
10.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設(shè)計
11.可配備多路自動點(diǎn)膠功能,點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)
12.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設(shè)計
13.外型尺寸:1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)
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