產(chǎn)品功能
1.SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;2.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
5.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
6.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào): SJ6800產(chǎn)品名稱: 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度: 0.04ppm
測(cè)量距離:≤(0-80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
測(cè)量分辨力:1nm
測(cè)量至大速度:4m/s
線性測(cè)量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測(cè)量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測(cè)量距離,單位:m)
主要特點(diǎn):測(cè)量、恒測(cè)力、無(wú)阿貝誤差
SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。