SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器以光波為載體,集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
性能特點(diǎn)
①使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達(dá)到4m/s。②配合有環(huán)境補(bǔ)償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
③分離式干涉鏡設(shè)計(jì),避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
應(yīng)用范圍
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測;②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析;
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動態(tài)特性分析。
SJ6000雙頻激光干涉儀精密測量儀器具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。