4850 / 4860系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器
彈性體密封熱
響應(yīng)時間極快，適用于對時間要求嚴格的工藝
熱式質(zhì)量流量計和控制器的響應(yīng)速度越快，工藝就越高效，生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的優(yōu)勢：該產(chǎn)品將基于 MEMS 的熱傳感器與的 PID 算法相結(jié)合以控制閥的響應(yīng)速度，因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項能便于用戶對設(shè)備進行查看、控制和配置，無需遠程二次儀表。
特點
- 流量響應(yīng)時間（完成時間）<0.75 s
- MEMS 傳感器和 PID 算法
- 尺寸小巧，不足常規(guī)熱式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設(shè)置和操作；免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零
- 通過 RS-232 實現(xiàn)數(shù)字化功能
優(yōu)勢
- 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
- 響應(yīng)速度快，可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
- 非常適用于各 OEM：尺寸小巧，集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
- 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案；無需借助遠程二次儀表
- 擁有多種通信方式，可輕松滿足用戶需求
應(yīng)用
- 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
- 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
- 用于測量和控制反應(yīng)物、校準和樣品氣體流量的分析設(shè)備
