GF80 / GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
提升價(jià)值驅(qū)動(dòng)型金屬密封應(yīng)用的性能標(biāo)準(zhǔn)
對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個(gè)特點(diǎn)：設(shè)計(jì)采用與 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù)，該產(chǎn)品是性價(jià)比運(yùn)營的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的優(yōu)勢，原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會(huì)發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度，同時(shí)還由于金屬密封件有效期相當(dāng)長而減少了維護(hù)工作量。
特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
- 1 秒內(nèi)穩(wěn)定
- 滿量程流速高達(dá) 300 slpm
- 全金屬密封流路 – 16µ 英寸 Ra 表面處理
- 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
- 可編程 MultiFloTM 功能 – 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 通過有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
- 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口
- 帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計(jì)
- DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢
- 1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
- 未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
- MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC
- 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
- 測量精度不受溫度變化影響
- 可輕松訪問診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間
- 規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的選擇
- 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
應(yīng)用
- 對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級(jí)
- 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存
- 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
- 太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
- 分析用 OEM 設(shè)備
