9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表
提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率
布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專(zhuān)為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì),該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路,可確保兼容過(guò)程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器,可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應(yīng)用無(wú)需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。
特點(diǎn)
- 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測(cè)量傳感器
- 高純度流路
- 遠(yuǎn)程控制電子元件(標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器)
- 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)
優(yōu)勢(shì)
- 傳感器穩(wěn)定性高,可保障運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存
- 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制
應(yīng)用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝