1． 技術(shù)參數(shù)
l UV光源：進(jìn)口LED模塊
l 曝光中心波長：365nm
l 光源平行性：2o
l ★曝光分辨率：0.8um-1um
l 曝光能量密度：>35mW/cm2可調(diào)
l 照度不均勻性：≤2.5%(∮150mm范圍)
l ★曝光面積：160mm*160mm
l 光源壽命：2萬小時(shí)
l 曝光設(shè)定：定時(shí)
l 曝光頭工作模式：曝光位對準(zhǔn)位自動(dòng)切換（前后移動(dòng)）
l 套準(zhǔn)精度：±0.8-1 um
l 可執(zhí)行曝光模式：真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式，
l 間隙設(shè)定方式：數(shù)字設(shè)定曝光間隙，自動(dòng)分離和消除間隙
l 樣片、掩模版相對移動(dòng)范圍：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6o
l 掩模版找平方式：球氣浮自動(dòng)找平
l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″ 各一件
l 標(biāo)配承片臺(tái) ： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
l 標(biāo)準(zhǔn)配件可兼容樣片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制
l 可設(shè)計(jì)工作厚度：50mm
l ★雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡或者光學(xué)鏡頭+CCD+顯示器：可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍，物鏡三對：4倍、10倍、20倍，目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 雙物鏡可調(diào)距離范圍：30mm-120mm
l ★顯微掃描范圍：Y:±40mm（電動(dòng)，數(shù)字設(shè)定）
設(shè)備尺寸：≤700mm
