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晶圓薄膜應(yīng)力測試儀

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更新時間：2021-03-22 15:09:36瀏覽次數(shù)：747次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：1668條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：左斌斌（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

加工定制	是

晶圓薄膜應(yīng)力測試儀樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；

詳細(xì)介紹

晶圓薄膜應(yīng)力測試儀

主要特點(diǎn)：

l 快速、非接觸式測量；

l 樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；

l 利雙激光自動轉(zhuǎn)換技術(shù)：如某一波長激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會自動使用另一波長激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用；

l 全自動平臺，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄（可選)；

l 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求：電介質(zhì)厚度測量，光致發(fā)光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；

l 500 及 900°C高溫型號可選；

l 樣品上有圖案亦適用；

l 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。

晶圓薄膜應(yīng)力測試儀

室溫系統(tǒng)

FSM 128

大樣品直徑200mm

FSM 128L

大樣品直徑300mm

FSM 128G

大樣品550×650mm

變溫系

FSM 500TC

電阻加熱工作臺：溫度可控，高500℃

FSM 900TC-vac

RTP型腔室：溫度可控，高900℃（可選1100℃）；真空達(dá)到 1E-6 Torr

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學(xué)試驗(yàn)機(jī)儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F(xiàn)有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗(yàn)軟件，并采用全數(shù)字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標(biāo)準(zhǔn)、國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，公司亦通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和國家計(jì)量體系認(rèn)證，榮獲了“武漢市第九界消費(fèi)者滿意單位”的稱號。

關(guān)鍵詞：應(yīng)力測試儀工作臺試驗(yàn)機(jī)