潔凈室簡(jiǎn)介：

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非99%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

控管項(xiàng)目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、溫度和濕度之控制。

4、壓力之調(diào)節(jié)。

5、有害氣體之排除。

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

7、靜電之防制。

8、電磁干擾預(yù)防。

9、安全因素之考慮。

10、節(jié)能之考量。

潔凈室重要性：

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 潔凈室系利用EPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料：

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

電子無(wú)塵車間凈化參數(shù)：

換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;

壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;

噪聲≤65dB(A);

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

凈化車間隔墻鋼化玻璃圓弧觀察窗示意圖

鋼化玻璃凈化觀察窗，大小為2400W*1200，窗戶離地高度為1.2米

設(shè)計(jì)方案：

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī)+FFU?？傊唧w的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

電子無(wú)塵凈化車間內(nèi)部細(xì)節(jié)展示

半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這就是半導(dǎo)體潔凈車間的來(lái)由。

半導(dǎo)體潔凈車間有專業(yè)的建造廠家，如，擁有凈化工程B類二級(jí)資質(zhì)的深圳市中建南方凈化設(shè)備有限公司。以下半導(dǎo)體潔凈車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法：

1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。

3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至*低程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是*佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!

7.半導(dǎo)體潔凈車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。