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深圳市嘉士達(dá)精密儀器有限公司


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SE200BA-M300橢偏儀測(cè)量250nm到1000nm薄膜材料厚度分析設(shè)備

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更新時(shí)間:2023-01-29 09:52:54瀏覽次數(shù):260次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SE200BA-M300橢偏儀測(cè)量250nm到1000nm薄膜材料厚度分析設(shè)備產(chǎn)品簡(jiǎn)介橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來(lái)進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器,主要用來(lái)測(cè)量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)

詳細(xì)介紹

SE200BA-M300橢偏儀測(cè)量250nm到1000nm薄膜材料厚度分析設(shè)備

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來(lái)進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器,主要用來(lái)測(cè)量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光(紫外光、可見(jiàn)光以及紅外光)變成偏振光后通過(guò)一定角度入射到樣品上,偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會(huì)反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi),由于樣品介質(zhì)會(huì)對(duì)偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變,而這種改變會(huì)被橢偏儀測(cè)量,橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對(duì)偏振光性質(zhì)改變的原理來(lái)表征介質(zhì)的性質(zhì)的。

SE200BA-M300型號(hào)實(shí)現(xiàn)250nm到1000 nm超長(zhǎng)波段的探測(cè),可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料紫外、可見(jiàn)和紅外波段的全覆蓋測(cè)量研究,同時(shí)可搭配自動(dòng)平臺(tái)掃描、自動(dòng)變角、微光斑探測(cè)以及平臺(tái)加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。

設(shè)備配置

型號(hào):SE200BM-M300

探測(cè)器:陣列探測(cè)器

光源:高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源

測(cè)量角度變化:手動(dòng)調(diào)節(jié)

平臺(tái):ρ-θ配置的自動(dòng)成像

軟件:TFProbe 3.2版本的軟件

計(jì)算機(jī):Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整機(jī)及零備件保修

波長(zhǎng)范圍:250nm到1000 nm

波長(zhǎng)分辨率: 1nm

光斑尺寸:1mm至5mm可變

入射角范圍:0到90度

入射角變化分辨率:5度間隔

樣品尺寸:zui大直徑為300mm

基板尺寸:zui多可至20毫米厚

測(cè)量厚度范圍*:0nm〜10μm

測(cè)量時(shí)間:約1/位置點(diǎn)

精度*:優(yōu)于0.25%

重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ

參數(shù)規(guī)格

波長(zhǎng)范圍:250nm 到 1000 nm
波長(zhǎng)分辨率: 1nm
光斑尺寸:1mm 至 5mm 可變
入射角范圍:10 到 90 度
入射角變化分辨率:0.01 度
樣品尺寸:zui大直徑為 300mm
基板尺寸:zui多可至 20 毫米厚

產(chǎn)品相冊(cè)

關(guān)鍵詞:橢偏儀 顯示器
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