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薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱鉑悅儀器（上海）有限公司
品牌
型號FSM 128
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2021/11/5 17:12:39
訪問次數(shù)229

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公司介紹主營產(chǎn)品

鉑悅儀器自 2004年成立以來，憑借與各大儀器知品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系，以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營管理，提高服務(wù)質(zhì)量，成為中國國內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè)，產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測機(jī)構(gòu)、部門等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品，更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊，本著客戶*的原則，從客戶的實際需求出發(fā)，鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制適合的綜合解決方案，并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù)，由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海，并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個辦事處，在能及時引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時，保證了鉑悅儀器能快速、有效的為各地的客戶提供良好的服務(wù)。

TEL:13381652059

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高精度的分析儀器，檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)品描述：FSM128系列設(shè)備，裝備有精密的光學(xué)掃描系統(tǒng)。

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介
FSM推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù)，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測量。該設(shè)備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋，分層，突起和空隙是如何形成的問題。FSM128系列設(shè)備，適合在半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，微機(jī)電，數(shù)據(jù)存儲和液晶面板行業(yè)的下一代器件的研發(fā)和生產(chǎn)中使用。

快速&非接觸激光掃描

3-D 視圖 &輪廓圖

可在室溫&高溫環(huán)境下測量

適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機(jī)械手臂搬送晶圓

主要設(shè)計特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片臺。FSM 128系列其它型號主要針對其它特殊尺寸樣品設(shè)計。(例如：FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品，而FSM 128G則專門設(shè)計來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
· 樣品容易放置和回收
特殊設(shè)計的可自動伸縮開關(guān)門機(jī)構(gòu)，方便從樣品載片臺上放置和回收晶圓樣品，使多片晶圓測量變得輕而易舉。
· 自動切換雙波段激光
FSM128系列具有專li的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達(dá)驅(qū)動的可旋轉(zhuǎn)載片臺，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應(yīng)力變化分布，并準(zhǔn)確反映出工藝和均勻性有問題的區(qū)域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能，使設(shè)備變成一臺可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境下靈活使用強(qiáng)大的桌面型設(shè)備。