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薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備

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公司名稱鉑悅儀器（上海）有限公司
品牌
型號FSM 500TC
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2021/11/5 17:19:23
訪問次數(shù)200

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公司介紹主營產(chǎn)品

鉑悅儀器自 2004年成立以來，憑借與各大儀器知品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系，以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營管理，提高服務(wù)質(zhì)量，成為中國國內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè)，產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測機(jī)構(gòu)、部門等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品，更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，本著客戶*的原則，從客戶的實(shí)際需求出發(fā)，鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制適合的綜合解決方案，并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù)，由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海，并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個(gè)辦事處，在能及時(shí)引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時(shí)，保證了鉑悅儀器能快速、有效的為各地的客戶提供良好的服務(wù)。

TEL:13381652059

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高精度的分析儀器，檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)品描述：FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:
FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，LED,數(shù)據(jù)存儲，微機(jī)電和面板產(chǎn)業(yè)。這些特性有助于檢測到諸如薄膜開裂，空隙，突起等可能在生產(chǎn)過程中導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。在新工藝和材料投入生產(chǎn)前，F(xiàn)SM500TC作為檢驗(yàn)其成熟性的工具，起著重要的作用。

FSM 500TC 200mm簡潔的用戶界面，使其很容易被操作人員或者偶爾使用的研發(fā)人員在研發(fā)或者生產(chǎn)環(huán)境下進(jìn)行室溫和高溫環(huán)境下的應(yīng)力測試。

主要設(shè)計(jì)特性：
· 多用途:
兼容50-200mm晶圓，無需要更換樣品載片臺和夾具，可以在室溫和高溫下測試晶圓應(yīng)力和晶圓彎曲。
· 樣品容易放置和回收
通過使用定位銷使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內(nèi)進(jìn)行重復(fù)操作
· 自動切換雙波段激光
具有專li的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時(shí)，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，HighK,金屬等薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個(gè)或者多個(gè)運(yùn)行在不同的升溫速率和退火溫度條件下，進(jìn)行薄膜材料的熱穩(wěn)定性檢測。
· 數(shù)據(jù)管理和報(bào)告
測試結(jié)果可用應(yīng)力vs溫度，應(yīng)力vs時(shí)間, 或者晶弓vs溫度為坐標(biāo)生成圖表，方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報(bào)告。熱膨脹系數(shù)計(jì)算應(yīng)用是FSM500TC的標(biāo)準(zhǔn)功能。