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連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備

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公司名稱鉑悅儀器（上海）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2021/11/5 17:26:12
訪問(wèn)次數(shù)149

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

鉑悅儀器自 2004年成立以來(lái)，憑借與各大儀器知品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系，以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營(yíng)管理，提高服務(wù)質(zhì)量，成為中國(guó)國(guó)內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè)，產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測(cè)儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、部門(mén)等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品，更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，本著客戶*的原則，從客戶的實(shí)際需求出發(fā)，鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制適合的綜合解決方案，并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù)，由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海，并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個(gè)辦事處，在能及時(shí)引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時(shí)，保證了鉑悅儀器能快速、有效的為各地的客戶提供良好的服務(wù)。

TEL:13381652059

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高精度的分析儀器，檢測(cè)儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件

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產(chǎn)品描述：設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號(hào)以供選擇

連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備產(chǎn)品信息

設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號(hào)以供選擇:
自動(dòng)上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測(cè)量(更高可選)
可添加并整合于多腔式的集束型架構(gòu)設(shè)備(cluster tool)

亦可在連續(xù)式設(shè)備內(nèi)加入四探針片電阻及光學(xué)膜厚測(cè)量, 適合薄膜太陽(yáng)能(銅銦鎵硒, CIGS)及平板顯示行業(yè)

基材尺寸:
450mm晶圓 (樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn))
370 x 470mm 長(zhǎng)方形基底 (XY樣品臺(tái))
連續(xù)式設(shè)備可以度身訂做, 沒(méi)有尺寸限制
片電阻測(cè)量適合金屬薄膜、銅銦鎵硒、非晶硅(硅)、碲化鎘、鉬、透明導(dǎo)電薄膜(AlZnO2)、摻雜之后的硅(硅)、硅鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位面積奧姆值 (更高可選)
短時(shí)間重復(fù)性: 0.1% (21次連續(xù)測(cè)量同一點(diǎn), 一個(gè)公差值)
長(zhǎng)時(shí)間重復(fù)性.0.2% (每天21次連續(xù)測(cè)量同一點(diǎn), 連續(xù)5 天, 一個(gè)公差值)

可整合于連續(xù)式(INLINE)的生產(chǎn)線內(nèi), 而收集的測(cè)量數(shù)據(jù)可自動(dòng)送到SCADA系統(tǒng)
光學(xué)膜厚測(cè)量功能可選
測(cè)量光斑<1mm
波長(zhǎng): 380-1050nm
可測(cè)量膜厚: 15-50nm, 多可達(dá)250nm
短時(shí)間重復(fù)性: ~0.1nm
長(zhǎng)時(shí)間重復(fù)性:: ~0.1nm
準(zhǔn)確度: 0.4% or 0.1nm